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pecvd 增強型化學氣相沉積

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pecvd 增強型化學氣相沉積

pecvd 增強型化學氣相沉積

下面我們鄭州邦達電氣有限公司為您介紹關于pecvd 增強型化學氣相沉積說明。

pecvd 增強型化學氣相沉積

詳細介紹

產品介紹


BTE-PECVD是我公司研發的一款單溫區的PECVD管式爐系統,它是由射頻電源系統,加熱系統、多通道質子混氣系統和真空系統組成。此款PECVD系統對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個很好的實驗幫手。

產品特點


1.該設備生長溫度更低
2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫,沉積速率快
3.設備輝光均勻等效,均勻生長,成膜質量好
4.支持外部真空規和壓力變送器
5.支持智能進氣,根據需要設定不同的溫度,自動進氣,進氣定時間到后自動停止進氣
6.支持云端數據存儲,隨時查看數據
7.支持爐膛移動速度調節
8.支持射頻電源根據外部工況條件自動啟動停止
9.支持壓力恒定,壓力可以設定
10.支持超壓保護,最大壓力值可以設定,超過后系統自動進入保護狀態
 

設備參數

 
型號 最高溫度℃ 爐膛尺寸mm 整機功率KW 射頻電源 流量計 流量計
BTE-PECVD1200-Ⅰ 1200 80*2000 4 射頻電源:300W 質子流量:3路 真空系統:TRP-12,3l/s真空測量:0.01Pa-200Kpa
系統真空度:5Pa
BTE-PECVD1200-Ⅱ 1200 80*2000 4 質子流量:3路
BTE-PECVD1200-Ⅲ 1200 80*2000 6 射頻電源:500W 質子流量:4路
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