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旋轉式沉積設備

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旋轉式沉積設備

旋轉式沉積設備

下面我們鄭州邦達電氣有限公司為您介紹關于旋轉式沉積設備說明。

旋轉式沉積設備

詳細介紹

產品介紹


我公司研發生產的CVD系統集真空管式爐,多通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產,各款管式爐,氣路系統和真空機組可多種方式組合,真空泵、閥均采用進口產品,性能可靠。控制電路選用模糊PID程控技術,具有控溫精度高,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。

產品特點


1.該設備生長溫度更低
2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫,沉積速率快
3.設備輝光均勻等效,均勻生長,成膜質量好
4.支持外部真空規和壓力變送器
5.支持智能進氣,根據需要設定不同的溫度,自動進氣,進氣定時間到后自動停止進氣
6.支持云端數據存儲,隨時查看數據
7.支持爐膛移動速度調節
8.支持射頻電源根據外部工況條件自動啟動停止
9.支持壓力恒定,壓力可以設定
10.支持超壓保護,最大壓力值可以設定,超過后系統自動進入保護狀態


 
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